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可為國內客戶提供Go element品牌的源瓶，主要為：ALD/CVD源瓶、自定填裝式源瓶、前驅體材料源瓶。
可根據客戶需求，進行100%定制化
主要適用前驅體為：TEOS, TMA, 4MS, SAM24, TiCI4, TMA, TDMAT,HCDS,High-K,Low-K,SiH2CI2,Si2H6.WF6及其他ALD/CVD材料
品牌：韓國Go element
材質
● 管件閥門：316L不銹鋼
● 瓶體：316L不銹鋼內部EP拋光處理，Ra≤0.5μm
容積與尺寸：根據客戶要求設計加工生產
灌裝介質：金屬有機前驅體材料、硅基前驅體材料及其他高純前驅體化學品
氣密性檢測
● 允許泄漏率≤2.0×10 mbar.L/S
● 可裝化學品純度：99.9999%～99.9999999%
其他選項
● 閥門可按客戶需求選擇
● 最短間隙組合閥組（減少死角、清掃方便）
● 可選韓國Go element的點式液位計和連續性液位計
● 定制化設計生產
源瓶的命名
