我們可以修復半導體行業的主要品牌MFC,包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等
對于Cl2和Br2 MFC,我們建議客戶更換新的,我們也可以提供1對1的交換服務。、

MFC Common Failure/Issue
-
流量不穩定(Flow unstable/Having Spike)
-
實際流量偏差超出規格(Actual flow out of SPEC)
-
流量無法控制 (Flow cannot be controlled)
-
響應時間延遲 (Flow response time delay)
MFC 服務范圍
-
已修復MFC保修:6個月
-
耗材更換:O形圈、金屬密封、閥門、電氣部件
-
MFC內的氣體配件和管道清潔(超聲波和化學)
-
MFC集成PCB修復
-
完井測試(功能和泄漏)
MFC服務完成測試
-
MFC內部和外部泄漏測試
-
MFC特定點流量測試
-
MFC設定點流量特定循環測試
-
MFC功能老化測試(10小時)