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CAT-O3系列臭氧破壞器能夠安全的分解高濃度臭氧到亞ppm濃度級，遠遠低于推薦的安全臭氧濃度。該儀器使用金屬氧化物被動催化臭氧轉化為氧氣。CAT-O3系列臭氧破壞器的外殼由不銹鋼焊接而成，并配有熱屏蔽層。該設備的設計能夠滿足行業內嚴格的安全標準。
特征
全焊接結構
獨立設備
反應時間快
無耗材
免維護
安裝簡單
應用
化學氣相沉積(CVD) 硅酸乙酯/臭氧(TEOS/O3)
原子層沉積(ALD)
有機金屬化合物化學氣相沉積
（MOCVD）
灰化(Ashers)
濕法處理流程(Wet Benches)
噴涂工具
& 更多
