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SCI-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器，能夠為很多系統(tǒng)部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發(fā)生器、EV閥、質(zhì)量流量計、背壓控制器、TAPI 452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。
SCI-552基于軟硬件特點，提供了很多系統(tǒng)聯(lián)鎖功能，它靈活性高，允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數(shù)字和模擬輸入來控制整個系統(tǒng)。SCI-552能夠支持兩臺臭氧發(fā)生器并提供兩條獨立的臭氧輸出渠道。
特點
特點
- RS-232 MODBUS遠程支持
- 可以控制兩臺臭氧發(fā)生器
- 可以控制兩臺452和470臭氧傳感器
- 交互
- 可以控制四臺質(zhì)量流量計
- 可以控制兩臺背壓控制器
- 可以控制兩個EV閥
- 可以控制一臺水冷卻器
- 系統(tǒng)聯(lián)鎖輸入
- 遠程系統(tǒng)級別控制和狀態(tài)輸入/輸出
- 化學氣相沉積(CVD)
- 原子層沉積(ALD)
- 氧化物生長
- 表面處理
- 灰化
- 粒子清潔
- 光刻膠去除
- 其他
顯示：2 行 x 40 字母、數(shù)字、真空熒光
分辨率：0.01% w/w
周期：不間斷測量,每2秒或0.5 Hz刷新
數(shù)字I/O: RS-232 C, 雙向
裝置I/O 發(fā)生器支持:能夠支持兩臺臭氧發(fā)生器，工業(yè)標準引出線
質(zhì)量流量計控制: 4 - DB-9 連接體，支持四臺質(zhì)量流量計
背壓控制器:2 - DB-15 連接體，支持兩臺電子背壓調(diào)節(jié)器
臭氧發(fā)生器: 2 - 10 針I(yè)DC，支持兩臺臭氧發(fā)生器
EV閥: 2 - 2 針連接體 - 24 VDC
EV閥: 2 - 2 針連接體 - 24 VDC
冷卻器：1 - DB-15 冷卻器連接體
客戶系統(tǒng)I/O聯(lián)鎖:1- 系統(tǒng)硬件聯(lián)鎖
1 - 通訊聯(lián)鎖
(可用戶配置)1 - 軟件聯(lián)鎖 (背壓)
串行數(shù)字：RE-232, DB-25 (Modbus標準 -可選其他選項)
AC電源: 90到240VAC, 50/60 Hz
典型功率: 低于225 W
尺寸 (寬 x 高 x 長)：19” x 7” x 9”
(48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)
重量：10.9 磅 (4.94 千克)
環(huán)境：只為室內(nèi)應用而設計
運行溫度：5 - 35?C
相對濕度：80%, 無冷凝
保修：1 年
認證：CE
